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槽式RCA清洗设备

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产品描述

  设备用途
  用于扩散后的硅片去绕镀后清洗处理。
  1.支持最薄110μm硅片。
  2.洁净区域干燥,自洁净系统。
  3.快速换液,在线换液。
  4.支持MES、RFID及选配在线称重功能。
  5.内循环和鼓泡,液位保护、温度保护功能
  

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